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IB-5離子鍍膜機在高分辨率SEM中的應(yīng)用

發(fā)布時間： 2023-08-29　　點擊次數(shù)： 422次

摘要:
本文介紹了IB-5離子鍍膜機在高分辨率掃描電子顯微鏡(SEM)中的應(yīng)用。該設(shè)備不僅能夠?qū)崿F(xiàn)細顆粒Pt和Pt-Pd的濺射鍍膜，同時還可以高效進行金屬、陶瓷和生物硬組織的離子蝕刻。設(shè)備具有穩(wěn)定的放電距離和環(huán)形的頂部和底部電極。本文還介紹了該設(shè)備的規(guī)格和主要功能。
關(guān)鍵詞：IB-5離子鍍膜機、高分辨率SEM、濺射鍍膜、離子蝕刻、穩(wěn)定放電
引言:
高分辨率掃描電子顯微鏡(SEM)在材料科學(xué)和生命科學(xué)等領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用。為了提高樣品的導(dǎo)電性和表面特性，離子鍍膜和離子蝕刻是常見的預(yù)處理技術(shù)。本文將重點介紹IB-5離子鍍膜機在高分辨率SEM中的應(yīng)用，包括濺射鍍膜和離子蝕刻功能。
方法:
IB-5離子鍍膜機的工作原理和操作流程將在本節(jié)中詳細介紹。該設(shè)備具有環(huán)形的頂部和底部電極，可以實現(xiàn)細顆粒Pt和Pt-Pd的濺射鍍膜。同時，該設(shè)備還可以對金屬、陶瓷和生物硬組織進行高效離子蝕刻。通過穩(wěn)定的放電距離和合適的參數(shù)調(diào)節(jié)，可以獲得所需的鍍膜厚度和蝕刻深度。
結(jié)果和討論:
使用IB-5離子鍍膜機進行濺射鍍膜和離子蝕刻后，SEM觀察到的樣品表面具有良好的導(dǎo)電性和較低的表面粗糙度。該設(shè)備的上電極和下電極采用環(huán)形設(shè)計，保持穩(wěn)定的放電距離，確保鍍膜和蝕刻的均勻性。不同的間隔設(shè)置和電離電壓調(diào)節(jié)可實現(xiàn)不同厚度的鍍膜和蝕刻深度。
結(jié)論:
IB-5離子鍍膜機在高分辨率SEM中展現(xiàn)出優(yōu)秀的性能。通過該設(shè)備的濺射鍍膜和離子蝕刻功能，可以提高樣品的導(dǎo)電性，并改善SEM觀察的圖像質(zhì)量。其穩(wěn)定的放電距離和環(huán)形電極設(shè)計確保了均勻的處理效果。IB-5離子鍍膜機適用于多種材料的表面處理需求，為科研和工業(yè)應(yīng)用提供了一種可靠和高效的解決方案。
附錄:
本文附錄提供了IB-5離子鍍膜機的詳細規(guī)格，包括上電極、下電極、樣品臺冷卻方式、靶材/樣品臺間隔、電離電壓、電離電流、涂層電極、真空泵等信息，以供讀者參考。

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