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日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701AT

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701AT

更新日期:2024-05-14

訪問量:1250

廠商性質(zhì):經(jīng)銷商

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701AT
排氣 → 鍍膜(蝕刻) → 全自動(dòng)直至向大氣開放
盡管是緊湊型,但仍可控制膜厚(簡易型)
操作簡單、重現(xiàn)性高的全自動(dòng)濺射設(shè)備
配備鍍膜/蝕刻模式

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701AT

特征

  • 排氣 → 鍍膜(蝕刻) → 全自動(dòng)直至向大氣開放

  • 盡管是緊湊型,但仍可控制膜厚(簡易型)

  • 操作簡單、重現(xiàn)性高的全自動(dòng)濺射設(shè)備

  • 配備鍍膜/蝕刻模式



應(yīng)用/結(jié)果示例

  • 適用于各種設(shè)備的電極膜附件

  • 用于制造反射薄膜等

日本sanyu electron桌面涂布機(jī)SC-701AT


基本規(guī)格

陰極φ2英寸/2極面對(duì)電極
濺射靶包括 Au 目標(biāo)
蝕刻靶包括鋁目標(biāo)
膜厚設(shè)定方法預(yù)設(shè)方法/帶膜厚監(jiān)視器的數(shù)字顯示
氣體引入機(jī)制針閥
真空泵直聯(lián)回轉(zhuǎn)泵:20l/min(帶自動(dòng)漏氣)
排氣操作自動(dòng)的
腔室尺寸內(nèi)徑 φ120 mm x D120 mm(SUS 制)
樣品交換方式前門開閉式
尺寸(寬/深/高)主體:225/420 / 320mm
RP:300/160 / 200mm
重量身體:15kg
RP:9kg



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