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日本sanyu electron桌面涂布機SC-701HMCⅡ

日本sanyu electron桌面涂布機SC-701HMCⅡ

更新日期:2024-05-14

訪問量:1327

廠商性質:經銷商

生產地址:

簡要描述:
日本sanyu electron桌面涂布機SC-701HMCⅡ
支持W(鎢)/Ni(鎳)/Cr(鉻)/Ti(鈦)等成膜的DC濺射設備
使用磁控管陰極
內置微機,高精度控制成膜過程
操作方式為全自動/手動2種模式
標配自動快門機構

日本sanyu electron桌面涂布機SC-701HMCⅡ

特征

  • 支持W(鎢)/Ni(鎳)/Cr(鉻)/Ti(鈦)等成膜的DC濺射設備

  • 使用磁控管陰極

  • 內置微機,高精度控制成膜過程

  • 操作方式為全自動/手動2種模式

  • 標配自動快門機構



應用/結果示例

  • W/Ni/Cr/Ti等的成膜

  • 燃料電池基礎實驗

日本sanyu electron桌面涂布機SC-701HMCⅡ


基本規(guī)格

陰極φ2寸磁控陰極
快門機制自動/手動操作
氣體引入機制針閥(自動/手動控制)
真空泵直聯(lián)回轉泵:100l/min(帶自動漏氣)
腔室尺寸內徑φ160mm x D160mm(SUS制)
樣品交換方式前門開閉式
尺寸(寬/深/高)機身:
360/360 / 260mm RP:174/460 / 264mm
重量身體:20kg
RP:23kg



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